ALICAT 帶集成截止閥氣體質(zhì)量流量控制器21V系列

產(chǎn)品特色

數(shù)字化產(chǎn)品
帶氣動截止閥，泄漏率低
多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
多參數(shù)控制:體積流量、質(zhì)量流量和壓力
標配三種控制方式：數(shù)字、模擬和本地面板
可選高精度：可優(yōu)于0.5%
 量程比 200:1
響應(yīng)時間快 僅需100ms(可調(diào))
內(nèi)置98種氣體
現(xiàn)場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣

技術(shù)指標

介質(zhì)要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類    內(nèi)置了98種氣體，請參考“產(chǎn)品資料下載"中氣體兼容表

                  一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇

量       程    從0-0.5SCCM 到 0-20SLPM

量 程  比    200：1

最大顯示流量    102.4%FS

顯示屏    帶按鍵，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精度    ± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數(shù) FS-雙向滿量程

高精度    ±(0.4%RD + 0.2%FS)，選配

僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設(shè)備

閥門泄漏率    不超過1x10 atm scc/sec (He)

重復(fù)性    ± 0.2% FS

零點漂移&滿量程漂移    0.02% FS / ?C / Atm

響應(yīng)時間    100ms（可調(diào)）預(yù)熱時間：<1s

標定工況：25℃ & 100kPa 絕壓、20℃ & 100kPa 絕壓、0℃ & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場可切換)

工作溫度：-10 ～ +50 ℃

工作濕度：0-100%，無冷凝

標準最大工作壓力    1MPa 表壓

標準極限耐壓    1.2MPa 表壓

中壓選項    2MPa

數(shù)字輸入/輸出信號：RS232或RS485或Modbus或Profibus*

模擬輸入/輸出信號：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA可選第二路模擬輸出：質(zhì)量流量或體積流量或壓力或溫度

供電電壓    7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)

供電電流    250mA ～ 750mA

電氣接口    8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業(yè)接頭

材質(zhì)    316L,303&302不銹鋼,Viton,硅膠RTV，玻璃增強尼龍

鋁 ,黃銅,430FR 不銹鋼, 硅，玻璃, PCTFE

安裝方式    對位置無要求 防護等級：IP40